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本人公司有一臺日本的HI-TECH的曝光機，曝光機上使用一個VAS700對位控制器    
就是不知道  這個控制器是日本那家公司的產品，那位大神知道，還請告訴我一些，在此非常感謝。

樓上兄弟  你知道是那個UVW  平臺和控制器嗎    能告訴我一下嗎  萬分感謝。

我這邊現(xiàn)有設備上的  用的VAS700控制器     現(xiàn)在對位有一些偏差    想找一些廠家   看一下說明文檔    調一下。  
兄弟  你可以發(fā)一份   亞伴的   TVA100-5C控制器 的文檔給我一下嗎    我借鑒一下   控制器應該是大同小異。