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想用黑白相機(jī)配三色光源可否檢測(cè)IC腳變形？吸盤將IC吸起，相機(jī)從下向上拍照，檢測(cè)IC腳水平方向腳變形和單腳上下翹起變形。這種配置是否可行？

看你要求的精度，尤其是Z方向的檢測(cè)。
如果要求精度不高，用樓主所說的方案可以檢測(cè)出來，可能主要問題在Z方向的形變上。
如果要示精度比較高，建議使用3D來檢測(cè)。
另外視覺方案評(píng)估，最好給出詳細(xì)的技術(shù)參數(shù)，例如：
產(chǎn)品尺寸范圍（涉及視野確定），最終要求檢測(cè)數(shù)據(jù)的公差范圍，產(chǎn)品檢測(cè)節(jié)拍，工作距離要求等。
只有以上數(shù)據(jù)清楚了，才能給出專業(yè)合理的評(píng)估方案。否則，都是兩可的半吊子方案，實(shí)施時(shí)會(huì)出問題的。

吸起來也可以保持同一個(gè)高度的，吸嘴選用帶支撐的就行。