氦氣，是一種稀有氣體，化學(xué)式為He，在常溫下，它是一種極輕的無色、無臭、無味的單原子氣體。氦氣是所有氣體中最難液化的，是唯一不能在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下固化的物質(zhì)。氦的化學(xué)性質(zhì)非常不活潑，一般狀態(tài)下很難和其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。因現(xiàn)在氦氣在各行業(yè)中的廣泛使用，使用量也越來越大，為降低工業(yè)生產(chǎn)成本，節(jié)約能源，將使用過的氦氣回收，再次或多次使用，提高氦氣的使用率勢在必行。
對于上述提及的隨著生產(chǎn)規(guī)模的擴(kuò)大，氦氣的使用量在逐漸遞增，而直接排放的方式也不再適應(yīng)于降本增效的生產(chǎn)要求，因此需要對氦氣進(jìn)行回收，現(xiàn)有回收方式主要通過在冷卻管的下端吹氮?dú)獾刃纬蓺夥鈱樱员阕柚构饫w帶動氦氣繼續(xù)向下流動，將氦氣集中到氣封層的上方以便對其抽氣回收，而為了保證對氦氣全面的回收且減少氮?dú)獾刃纬蓺夥鈱託怏w的浪費(fèi)，通常需要調(diào)節(jié)控制氮?dú)獾刃纬蓺夥鈱拥牧髁看笮〖昂饣厥盏牧髁看笮。绾握{(diào)節(jié)控制兩個氣體流量的大小成了目前急需解決的技術(shù)問題。
因此控制氣體的流量與大小，在節(jié)能減排、控制成本方面也有重大意義。熱式質(zhì)量氣體式流量計(jì)可以直接對質(zhì)量流量檢測，不需要溫度和壓力補(bǔ)償，因此也正好符合使用熱式質(zhì)量氣體式流量計(jì)來對氦氣氣體進(jìn)行測量。
工采網(wǎng)提供的瑞士IST 熱式質(zhì)量流量傳感器 - MFS02對于大流量與快速響應(yīng)的應(yīng)用，CTA模式下有極高分辨率，測量動態(tài)范圍(10‘000‘000 : 1)，非旁路模式，對腐蝕性氣體和蒸氣具有高耐化學(xué)性不同的靈敏度與電路拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)可供選擇支持用戶訂制適用于通過橋式電路測量極低流量與泄漏檢測應(yīng)用。
瑞士IST 熱式質(zhì)量流量傳感器MFS02 參數(shù)：
英國SST 氣體流量傳感器 - AFE-01由四個鉑金薄膜電阻構(gòu)成,阻抗低，加熱區(qū)面積小。加熱器左右兩邊各一個高阻抗電阻，用來檢測流速和流向，還有一個電阻用來檢測氣體的溫度，靠近加熱元件的兩個電阻連接成一個電橋，產(chǎn)生檢測流速和流向功能的一個輸出信號。在沒有流量的情況下，這兩個電阻達(dá)到同樣的加熱狀態(tài)。當(dāng)有流量存在時，其中一個電阻的溫度比另一個低很多，具體哪個電阻溫度變低由流向決定，溫度差可以測量得到，由流速和流向決定。流量傳感器的加熱時間和響應(yīng)時間非常短，因?yàn)樗臒豳|(zhì)量小。這種方式可以檢測到非常微小的流速變化。 為了得到更高的流動速度， 溫度傳感器可以與恒溫風(fēng)速儀相連接。
英國SST 氣體流量傳感器AFE-01技術(shù)參數(shù):
測量原理：熱量原理
檢測量程：0 ... 50 m/s （以CTA模式的電路為例）
靈敏度：0.001 m/s
精 度：< 2%測量值（取決于電路和標(biāo)定）
響應(yīng)時間：T 63% < 0.5 S
溫度范圍：-20…… +150 °C
電氣連接：絕緣漆包銅線 (一般長度25 mm)
加熱元件：RH (25°C) = 34□± 10%
檢測元件：Rs_i (25°C) = 425□ ± 10%
參考元件：RR (25°C) = 710□ ± 10%
供電電壓：一般為 2 …… 5 V（取決于氣體流速）
基片材料：低熱導(dǎo)陶瓷
總之，更高的參數(shù)需要客戶定制
英國SST 氣體流量傳感器AFE-01 優(yōu)勢:
流向檢測
檢測小質(zhì)量物體的流動
簡單的信號處理電路和標(biāo)定
完全固定的機(jī)械元件
優(yōu)異的重復(fù)性
優(yōu)異的長期穩(wěn)定性
適用于多種行業(yè)或安裝到不同外殼
zui優(yōu)的性價(jià)比
滬公網(wǎng)安備31010802001143號
